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硅片超声波清洗设备

硅片超声波清洗设备

全自动PLC控制,可设置触摸屏操作面板。自动手动互换操作功能,可储存多套操作工艺程序。温度数字显示控制指示器。故障自动报警及诊断功能。

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  • 超声波清洗机,喷淋清洗机,工业冷水机,工业纯水机

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  • 联系人:
    田先生
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    销售
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  • 手   机:
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  • 地   址:
    江苏 苏州 相城区 望亭镇迎湖工业园创新路6-8号
产品特性:优质加工定制:是种类:水洗机
洗涤容量:50-100千克Kg样式:订制适用范围:工业用
型号:订制驱动方式:电动品牌:纳美
自动化程度:半自动产品类型:全新电源电压:380V
桶材质:不锈钢

硅片超声波清洗设备详细介绍

本设备为浸泡式清洗机,用于扩散、外延等设备的石英管,碳化硅管的清洗

1.整台设备采用进口磁白色聚丙板(PP)搭配进口焊接设备焊接而成。

2.设备分为两个清洗槽,内槽为酸洗槽,外槽为水洗槽,内外槽均装

   在隔离槽内,与底部和周围隔离。
3.隔离槽底部倾斜式,***处设有排水管,隔离槽后设有排气装置。
4.清洗槽左右两端设有进口纯水喷枪和氮气喷枪。
5.内设照明装置。


特征:
1.全自动PLC控制,可设触摸屏操作面板。
2.自动,手动互换操作功能,可储存多套工艺程序。
3.温度数字显示控制指示器。
4.故障自动报警及诊断功能。
5.多臂式位移组合机械手。
6.清洗槽四面溢水,高精度循环过滤装置,液位保护控制。
7.全封闭顶部排风系统。
8.步进或伺服电机,气动提送,精准可靠。
9.超声波频率:25KHZ,28KHZ40KHZ68KHZ


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